RTPシステムヒーターのトラブルシューティング

ライン上では、ハロゲンRTPヒーターが0.3℃ずれるだけでフォトレジストのプロファイルに影響を及ぼす—ソフトベークのフッティングやハードベークの架橋のばらつきが発生する。ロットは突然危険な状況に陥る。この業界では、熱の逸脱は単に不良になるのを待っているわけではない。すでに進行中の不良である。 実際...