爆発を防ぐために：ファブ内でのIR乾燥装置の利用
もし、ファブ内でウェーハや基板を乾燥させているのであれば、その手間はよくわかるでしょう。一般的には、言ってみれば非常に燃焼しやすい汚染物質を取り除く必要があります。このような環境では、通常のIRランプは単なる工具ではなく、むしろ危険な存在です。わずかな火花や過熱した部品があれば、大惨事につながります。
私たちは、屋外型のランプを使わず、封入型のIRシステムを使用しています。
秘密は密閉性にあります
単にランプにカバーを被せるだけでは不十分です。私たちは、防爆仕様のケースの中に、通常は石英やサファイアで作られた完全に密閉された容器を使用します。これにより、熱と有害なガスが電気接点から離れて保持されます。たとえランプが壊れても、密閉性によって火花や余分な熱がチャンバー内に漏れ出すことはありません。これにより、安心して作業を行えます。
熱対策
ここが多くの設備が失敗する箇所です。高出力のランプは非常に高温になります。もしケース自体が点火源になってしまったら、また最初からやり直しです。
それを防ぐために、私たちは特別に設計された放熱合金やブラケットを使用しています。これにより、熱が必要な場所、つまり基板に向かって送られ、ケースの外部は十分に冷えているため、発火の危険がありません。
妥協点
しかし、フィラメントと対象物の間に何らかの材料を挟むと、直接の加熱効果が少し低下します。つまり、裸のランプを使った時の100％の効率は得られないのです。
そのため、ワット数を上げたり、部品をもう少し長時間高温状態に置いて乾燥させる必要があります。しかし、これは実験室が爆発しないようにするための小さな代償に過ぎません。
必ず適切な防爆コンデュイットを使用し、センサーの校正もしっかり行ってください。そうすれば、火災の心配なく、作業を続けることができます。