
为何在洁净室中使用红外固化技术?
如果您在半导体制造厂工作,就应该明白其中的难点。需要将晶圆烘干,但又不能让任何灰尘附着在晶圆上。因此,我们选择使用红外加热技术。与用热风加热相比,红外加热不会产生颗粒物,因为它是通过电磁辐射来传递能量的。能量直接作用于晶圆上,没有强制对流,也不会有碎片飞溅的问题,从而避免了诸多麻烦。
应对无铅材料的固化问题
采用无铅焊料和粘合剂并非那么简单。这类材料的熔点较高,且在受热时的行为也有所不同。如果使用普通烤箱进行加热,很可能会在焊料完全熔化之前就损坏基底。而红外加热则不同,它能够精准地作用于涂层所需的吸收带,从而实现快速固化。整个过程非常快,无需为加热某个部位而让整个烤箱都处于高温状态。
减少能源浪费
想想传统的烤箱吧,它们需要消耗大量能源来加热墙壁、空气和天花板,这显然是浪费资源。而红外灯则能立即作用于目标区域。由于热量无需通过介质传递,因此处理时间大大缩短。此外,这种技术的能耗也更低,因为只有在部件处于所需温度时才会启动照明装置,非常简单。
需要注意的问题及解决方法
不过,这种技术也有其局限性。高强度的红外辐射会产生大量的热量。如果冷却系统不够完善,就会导致问题出现。如果排气系统无法有效带走灯泡产生的热量,就可能导致烤箱框架变形或电子元件损坏。另外,距离也是一个关键因素。必须精确控制距离,否则就可能出现局部过热的情况,从而导致晶圆受损。虽然要求很高,但这样做是值得的。我们设计的系统可以轻松取代传统的加热设备,从而实现更清洁的作业环境、更高效的流程,同时也能大幅减少能源浪费。