真空兼容红外加热器

在光刻车间，你很清楚情况：烘烤温度漂移半度，CD（关键尺寸）就开始偏移。一个颗粒，损失的不仅仅是一片晶圆。你连续进行软烘和硬烘，然后清洗和干燥——每一步都推进了热预算。如果加热器开始性能下降，良率在计量设备提示之前就会下降。 我们技术上的重点 我们设计了基于短波近红外（NIR）元件和石英光学的真空...