在生产车间，软烘烤温度的1°C漂移会导致光刻胶的轮廓发生变化。如果硬烘烤温度稍微过高，开发后会出现污点。功率器件硅片具有宽大硅片和严格的热预算，因此任何温度不均匀性都会表现为边缘珠、CD控制不精确和无法忽视的良率损失。 实际重要的内容 我们围绕短波红外发射器在石英中构建功率器件硅片加热器——响应快...

高功率红外加热器如何将热量精确传递到所需位置 加热大型工业空间的问题在于：加热所有空气既缓慢又昂贵。这相当于用一个顶针往游泳池里注水。 因此，我们设计的高功率红外加热器只做一件事，并做到位：提供强烈且定向的热量。我们采用短波红外线直接加热物体和人体，完全跳过空气。加热速度快，热量集中，有效消除冷点...