防止意外爆炸：工厂中的红外干燥技术 如果在工厂里对晶圆或基板进行干燥处理，你肯定知道其中的挑战所在。通常情况下，需要处理的都是那些极易燃烧的残留物。在这种环境中，普通的红外灯根本无法使用——它反而可能成为引发事故的隐患。哪怕只是一个小火花或过热的部件，都可能导致灾难性后果。 为了解决这个问题，我们...

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损伤 在干燥MEMS传感器晶圆时，实际上就是在玩一场“不能损坏传感器”的高风险游戏。必须彻底去除水分，但同时不能留下任何杂质，更不能给晶圆施加过大的机械应力，以免使其变形。 因此，我们选择使用短波红外线加热器。与通过热空气对流来加热不同，红外线是通过辐射来加热的，...