晶圆氧化加热元件

在制造过程中，良率实际上取决于温度控制的精确程度。如果烘烤温度出现波动，就会导致线宽出现不均匀现象。而在氧化过程中，如果某个区域温度过低，就会导致栅极氧化层不稳定。我们设计了专门的加热元件来应对这些问题——因为必须确保关键位置的温度始终处于受控状态。 从技术层面来看，什么才是重要的？ 我们使用快速...