
如何利用红外线实现无铅固化处理
如果您使用的是晶圆加工设备,且必须遵守严格的环保或无铅标准,那么您应该已经意识到,传统的对流式烤箱显然无法满足这些要求。因为它们加热速度慢,而且还会浪费大量能源。
因此,我们大多选择使用红外线技术来进行固化处理。其实,红外线技术的优点在于:它不会加热晶圆周围的空气,而是直接将能量传递到晶圆表面。这完全改变了我们对热量应用的思维方式。我们不再需要耗费大量电能来加热整个金属腔体,而是通过短波和中波灯来精确地加热光阻或粘合剂所在区域。这样既更清洁,也更快,同时还避免了使用那些有害的溶剂基催化剂。
不过,不能仅仅依靠热量来处理问题。否则,晶圆可能会变形或被烧毁。为了解决这个问题,我们需要将红外线阵列与高速测温仪结合使用。由于这些灯可以立即发出高功率的光线,我们可以控制能量的输出,从而将温度控制在理想的范围内。
需要注意的一点是:这些红外线阵列会在极小的空间内产生大量热量。如果设备的散热系统不够好,那么灯丝很可能会过早烧毁。
另外,无铅材料也有其特殊要求。无铅焊料和粘合剂通常需要更高的温度以及更快的升温速度。而红外线技术则能轻松满足这些要求,因为它能够提供足够的热量,同时不会让整个设备过热。