如何利用红外线实现无铅固化处理 如果您使用的是晶圆加工设备，且必须遵守严格的环保或无铅标准，那么您应该已经意识到，传统的对流式烤箱显然无法满足这些要求。因为它们加热速度慢，而且还会浪费大量能源。 因此，我们大多选择使用红外线技术来进行固化处理。其实，红外线技术的优点在于：它不会加热晶圆周围的空气，...

在光刻工艺中，哪怕温度仅有半度的偏差，都可能影响关键尺寸的精确度，从而导致整批产品报废。温度控制是一个不容妥协的问题。我们设计的这种红外灯座，就是为了确保晶圆处理时的温度始终处于理想状态——即精确控制在规定范围内，且适用于每一块晶圆。 关键点在于： 当将此灯座与短波或中波红外光源结合使用时，就能实...