晶圆加工设备用温度传感器
如何利用红外线实现无铅固化处理
如果您使用的是晶圆加工设备,且必须遵守严格的环保或无铅标准,那么您应该已经意识到,传统的对流式烤箱显然无法满足这些要求。因为它们加热速度慢,而且还会浪费大量能源。
因此,我们大多选择使用红外线技术来进行固化处理。其实,红外线技术的优点在于:它不会加热晶圆周围的空气,...
用于晶圆的精密红外传感器
别再浪费热量了:处理半导体加工设备中红外线的更好方法 普通的红外灯存在一个很大的问题——它们会将热量向各个方向散发,也就是360度全方位散发热量。
在晶圆加工腔体中工作时,这无疑是个大问题。因为虽然你试图加热晶圆,但大量热量却无法被有效利用,而是直接照射到设备的内部墙壁上。结果是,设备外壳会变得非...
氢气传感器制造用加热器
我们为何选择红外加热技术来制造氢传感器
在制造氢传感器时,温度控制至关重要。哪怕温度有微小的偏差,都可能毁掉传感器中的薄膜结构,或是导致催化剂无法牢固附着在表面。长期以来,我们一直使用传统的电阻式加热器。但说实话,这种方式效率极低——为了让某个小部件达到合适的温度,必须加热大量的空气。
因此,我们...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损伤
在干燥MEMS传感器晶圆时,实际上就是在玩一场“不能损坏传感器”的高风险游戏。必须彻底去除水分,但同时不能留下任何杂质,更不能给晶圆施加过大的机械应力,以免使其变形。
因此,我们选择使用短波红外线加热器。与通过热空气对流来加热不同,红外线是通过辐射来加热的,...
智能传感器封装红外技术
别再让加热器毁掉你的生产效率了 如果你负责管理100级洁净室,那你肯定知道那种噩梦般的状况:颗粒物的产生。这些颗粒物就是所谓的“隐形杀手”。普通的加热元件容易释放气体或产生碎屑,而在半导体制造或智能传感器封装过程中,哪怕只有几颗微小的碎屑,都足以导致生产失败。
我们找到了解决这个问题的方法——那就...