别再浪费热量了：处理半导体加工设备中红外线的更好方法 普通的红外灯存在一个很大的问题——它们会将热量向各个方向散发，也就是360度全方位散发热量。 在晶圆加工腔体中工作时，这无疑是个大问题。因为虽然你试图加热晶圆，但大量热量却无法被有效利用，而是直接照射到设备的内部墙壁上。结果是，设备外壳会变得非...

停止浪费能量：更智能的红外发射器使用方法 在半导体晶圆加工过程中，能源的浪费不仅意味着成本上升，更是一种设计缺陷。既然要支付电费，那么就应该让每一瓦特的能量都作用于晶圆表面，而不是白白浪费掉。 这就是为什么需要使用金涂层以及高品质陶瓷端盖的原因。 黄金涂层的作用 普通的石英发射器无法精准控制热量的...