클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 여러분이 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 오염이 가져오는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 가열 요소에서 나오는 기체만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
대부분의 일반적인 가열등들은 이런 상황에 적합하지 않습니다. 고온에 도달하자마자 부서지거나 휘발성 유기 화합물(VOCs)을 배출합니다. 이는 엄청난 문제입니다.
그래서 저희는 적외선 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
석영이 중요한 이유
저희가 사용하는 석영은 금속 이온이 이동하는 것을 막을 만큼 순도가 높습니다. 고출력의 전력을 공급해도 문제가 없습니다. 열 스트레스로 인해 석영이 손상되거나 연기가 날 일도 없습니다. 그저 깨끗한 열만이 발생할 뿐입니다. 공기 중에 먼지가 나오지 않으며, 원치 않는 잔여물도 생기지 않습니다. 그저 제대로 작동할 뿐입니다.
더 많은 출력, 더 적은 크기
이 석영은 열을 잘 견딜 수 있기 때문에, 진공 상태나 청정실의 완전성을 해치지 않으면서도 더 높은 출력을 얻을 수 있습니다. 게다가 적외선 스펙트럼을 집중시킬 수 있어서, 크고 무거운 가열기를 사용할 필요가 없습니다. 그래서 바닥 공간을 많이 절약할 수 있습니다.
다만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 석영은 화학적으로는 강하지만, 충격에는 약합니다. 만약 생산 라인이 많이 진동한다면, 반드시 충격을 완화하는 장치를 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 석영관이 깨질 수 있으며, 그건 정말 청소하기 힘든 문제가 됩니다.
설치 방법
저희는 이 램프들을 “그대로 교체 가능한” 형태로 만들었습니다. 청정실이 멈춰 있는 시간마다 막대한 손실이 발생하므로, 설치 과정을 간단하게 만들었습니다. 연결 부위의 누수를 막기 위해 밀폐성이 뛰어납니다. 또한 전선을 연결할 때는 반드시 단단히 고정해야 합니다. 아크 발생을 피해야 하며, 아크 발생은 탄소 침전물을 만들어내어 오염 수준을 급격히 높입니다.
반도체 웨이퍼를 처리하는 분들에게는 이 램프가 정확한 온도 상승을 제공해줍니다. 안정적인 열원으로서 기판에 아무런 영향을 주지 않습니다.
마지막으로, 냉각 팬을 확인해보세요. 균형이 잡혀 있는지 확인해야 합니다. 만약 불균형하다면, 진동으로 인해 램프가 더 빨리 손상될 수 있습니다.