왜 진공 적외선 히터에는 금이 필수적인가? 진공 상태에서 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 일반적인 원칙들이 적용되지 않습니다. 열을 전달해 줄 공기가 없으므로 대류 현상도 일어나지 않습니다. 따라서 오직 복사에만 의존해야 합니다. 문제는, 일반적인 알루미늄이나 스테인리스...

리소그래피 작업장에서의 상황 베이크 온도가 0.5도만 변해도 CD가 흔들리기 시작한다는 점은 익히 알고 있을 것이다. 한 개의 입자만 있어도 웨이퍼 이상의 손실이 발생한다. 연속으로 소프트 베이크와 하드 베이크를 진행한 후 세척과 건조를 하는데, 각 단계가 열 예산을...