에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
왜 스마트 팩토리에서는 저항식 가열 방식을 적외선 가열 방식으로 대체하는가?
스마트 팩토리를 구축하려는 사람이라면, 구식의 저항식 가열기들이 오히려 작업 효율을 저하시킨다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 그런 가열기들은 사용하기 불편할 뿐만 아니라, 디지털 환경과도...
공장 건조 과정에 대한 에너지 점검
폭발을 막는 방법: 공장 내에서의 IR 건조 기술
만약 공장에서 웨이퍼나 기판을 건조시킨다면, 어떤 문제가 발생할 수 있는지 잘 알고 있을 것입니다. 보통은 깨끗하게 제거해야 하는 잔여물들인데, 솔직히 말해서 이러한 물질들은 매우 인화성이 높습니다. 이런 환경에서는...