반도체 웨이퍼를 가열할 때, 온도는 단지 절반에 불과합니다. 진짜 문제는 바로 먼지입니다. 클래스 100급 청정실에서라도, 아주 작은 양의 오염물질만 있어도 전체 실리콘 제품을 망칠 수 있습니다. 이는 매우 성가시고 비용도 많이 드는 문제이며, 충분히 피할 수 있는 문제입니다.
그래서 우리는 고순도 합성 석영과 금 코팅을 사용합니다. 이렇게 하면 오염이 시작되기 전에 미리 막을 수 있습니다.
왜 금을 사용하는가?
일반적인 적외선 램프의 경우, 에너지가 새어나갑니다. 그 열의 대부분은 램프의 외부로 흘러나가거나 낭비됩니다. 우리는 석영 위에 얇은 금 층을 추가함으로써 이 문제를 해결합니다. 이는 마치 적외선 에너지만 반사하는 거울과 같습니다. 이렇게 하면 열이 웨이퍼에 직접 전달되어, 필요한 부분에만 집중적으로 열이 가해집니다.
또 다른 장점은 금이 산화되지 않는다는 것입니다. 저렴한 코팅재들은 몇 백 번의 가열 사이클만 지나도 벗겨집니다. 하지만 금은 그대로 유지됩니다. 이를 통해 금속성 먼지가 생산구역으로 들어가서 문제를 일으키는 것을 방지할 수 있습니다.
재료에 대한 자세한 설명
우리는 고순도 석영을 사용합니다. 왜냐하면 석영은 고온에서도 기체가 발생하지 않기 때문입니다. 이러한 석영관은 매우 빠르게 온도를 높일 수 있으며, 이는 정밀한 처리에 필수적입니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 금이 열을 잘 반사하기 때문에, 램프의 뒷부분은 시원한 반면 앞부분은 매우 뜨거워집니다. 따라서 냉각 팬과 보호 장치가 제대로 작동해야 합니다. 그렇지 않으면 주변의 센서들이 손상될 수 있습니다.
램프의 사용법
우리는 이 램프들을 쉽게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 커스텀 플랜지나 표준 커넥터를 사용하든, 모두 단단하게 고정됩니다. 소음이나 진동도 없습니다.
한 가지 팁: 전압을 안정적으로 유지하세요. 전압의 변동은 필라멘트를 손상시킬 수 있습니다. 전력을 안정적으로 공급한다면, 이 램프들은 오염물질이 없는 안정적인 열원을 제공하여, 제조 과정에서 원하는 결과를 얻을 수 있습니다.