도구 보관함이 과열되는 것을 막으세요
대부분의 가열 요소들은 열을 사방으로 방출합니다. 즉, 360도로 에너지가 퍼져 나가는 것이죠. 좁은 반도체 처리실에서 작업할 때 이는 문제가 됩니다. 내벽들이 그 열을 흡수하게 되고, 어느새 장비가 위험할 정도로 뜨거워집니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방향성 있는 적외선 가열 방식을 사용합니다. 열이 여기저기 퍼지는 대신, 필요한 곳, 즉 기판에 정확하게 열을 전달합니다. 그렇게 하면 장비의 내벽은 차갑게 유지되고, 작업자들도 화상을 입을 위험에서 벗어납니다.
열을 어떻게 전달하는가?
우리는 반사층이 부착된 단파 적외선 램프를 사용합니다. 마치 열을 발산하는 손전등과 같습니다. 이 램프는 에너지를 앞쪽으로 보내어 목표물에 직접 부딪히게 하며, 공기나 기계 프레임에 에너지가 낭비되는 것을 막습니다.
속도도 매우 빠릅니다. 정말 빠르죠. 게다가 도구 내부에서 열이 축적되는 문제가 없으므로, 공장의 HVAC 시스템도 굳이 과도하게 작동할 필요가 없습니다.
테플론 소재의 전선에 대하여
고출력 적외선 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 램프 근처에 일반적인 PVC나 실리콘 전선을 사용하면 전선이 녹아버릴 것입니다. 결국 절연체가 파괴되어 단락이 발생할 수 있습니다.
그래서 우리는 테플론(PTFE) 코팅된 전선을 사용합니다. 이 전선은 열을 견딜 수 있습니다.
한 가지 팁: 전선의 굵기에 주의하세요. 공간을 절약하기 위해 너무 얇은 전선을 사용하면 전압 강하가 발생합니다. 그러면 일관성이 떨어지고, 이 분야에서는 일관성이 가장 중요합니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
방향성 가열은 매우 정밀한 작업입니다. 램프의 위치가 몇 밀리미터만 잘못되어도 웨이퍼에 차가운 부분이 생길 수 있습니다. 이를 방지하기 위해서는 장착 브라켓을 단단히 고정해야 합니다.
또한, 전선에 대해서도 주의해야 합니다. 테플론은 튼튼하지만 실리콘보다는 더 딱딱합니다. 너무 좁은 공간에 전선을 강제로 넣으려 하지 마세요. 그럴 경우 단자에 과도한 스트레스가 가해집니다.