반도체 웨이퍼의 품질을 해치는 난방 요소들을 더 이상 그대로 두지 마세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 양의 코팅 입자나 램프에서 새어 나오는 화학 가스만으로도 웨이퍼의 품질이 현저히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일이죠. 환경을 위해 많은 돈을 투자했는데, 평범한 IR 램프 때문에 모든 노력이 수포로 돌아가버립니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾았습니다. 반도체용 램프에는 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 오염이 발생하지 않습니다.
순도의 중요성
대부분의 램프는 저렴한 접착제나 밀봉재를 사용하는데, 이런 재료들은 600°C가 되면 연기가 나기 시작합니다. 바로 여기서 오염이 생깁니다. 우리는 그런 재료들을 완전히 제거했습니다.
우리는 금속 불순물이 거의 없는 융합 실리카를 사용합니다. 이는 매우 중요한데, 고온에서 불순물들이 표면으로 이동하는 것을 막아주기 때문입니다. 우리의 밀봉재는 지속적인 가열과 냉각에도 균열이 생기거나 탄소 입자가 나오지 않도록 설계되어 있습니다.
진짜 중요한 곳에 열을 가한다
이 램프들은 강력한 단파 복사능을 내뿜습니다. 좋은 점은 침실 내부의 공기가 아닌, 웨이퍼 자체를 가열한다는 것입니다.
속도도 매우 빠릅니다. HVAC 시스템이 열을 처리하기 위해 과도한 부담을 갖지 않아도 됩니다. 이를 통해 웨이퍼의 수분 제거나 포토레지스트 건조와 같은 작업을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
물론, 고순도 석영은 열을 전달하는 데 훌륭하지만, 너무 연약해서 충격에 견디지 못합니다. 기계가 시작될 때나 멈출 때 진동이 발생하면 램프가 부서질 수 있습니다. 반드시 마운팅 브라켓에 충격 흡수 장치가 있는지 확인하세요.
또한, 반도체 제조 표준을 충족시키기 위해 이 램프들은 매우 뜨거워집니다. 냉각 시스템도 반드시 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 만약 크기가 적절하지 않다면, 램프 소켓이 녹아버릴 수 있습니다.
현재 사용 중인 램프를 교체하고 싶다면, 이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되어 있습니다. 길이와 와트 수만 확인하면 됩니다.