웨이퍼 경화 램프용 반사기
와이어의 경화를 올바르게 수행하는 방법: 핵심은 반사판에 있습니다.
우리 대부분은 반도체를 건조시키는 데 적외선을 사용합니다. 왜냐하면 화학 용제나 연소 과정이 없으며, 단지 전기 에너지가 열로 변환되기 때문입니다. 이 방식은 환경 친화적이며, 납이 포함되지 않아 규...
웨이퍼 공정용 온도 센서
적외선을 활용해 무연 처리를 제대로 수행하는 방법
웨이퍼를 다루는 작업을 할 때, 엄격한 환경보호 규정이나 무연 요구사항을 준수해야 한다면, 기존의 대류식 오븐은 그다지 효과적이지 않다는 것을 아실 것입니다. 대류식 오븐은 처리 속도가 느리고 에너지도 많이 소모됩니다...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
열을 낭비하지 마세요: 반도체 제조 공정에서 적외선을 효과적으로 활용하는 방법
일반적인 적외선 램프는 상당히 문제가 많습니다. 이 램프들은 에너지를 360도 전 방향으로 방출하기 때문입니다.
웨이퍼 가공실에서 작업할 때 이는 심각한 문제가 됩니다. 웨이퍼를 가열하려고...
에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
왜 스마트 팩토리에서는 저항식 가열 방식을 적외선 가열 방식으로 대체하는가?
스마트 팩토리를 구축하려는 사람이라면, 구식의 저항식 가열기들이 오히려 작업 효율을 저하시킨다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 그런 가열기들은 사용하기 불편할 뿐만 아니라, 디지털 환경과도...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 마치 “센서가 손상되지 않도록 하는” 고위험 게임을 하는 것과 같습니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떤 오염물도 남겨둘 수 없으며, 웨이퍼에 과도한 기계적 압력을 가해 변형시키는...
웨이퍼 처리에 적외선을 사용하는 이유는 무엇인가요
생산 라인에서 열 드리프트는 단순히 그래프에만 나타나는 것이 아니라, 실제로 제품의 품질을 저하시킵니다. 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 2°C만큼의 온도 변화가 있어도 리소그래피 공정 전체에 악영향을 미칠 수 있습니다. 웨이퍼를 건조할 때 온도가 낮은 부분이 생기...
웨이퍼 범프의 플럭스 증발
웨이퍼 범핑 과정에서 플럭스 잔여물은 단순한 외관상의 문제가 아닙니다. 이는 생산성을 저하시키는 심각한 문제입니다. 증발 구역에 한 곳이라도 온도가 낮으면 플럭스가 제대로 증발하지 않습니다. 그 결과 솔더 볼들이 제 자리에 있지 못하고, 리플로우 과정도 정상적으로 진...
파워 디바이스 웨이퍼 가열 램프
공정 현장에서 소프트 베이크 온도가 1°C만 변해도 포토레지스트 프로파일이 달라진다. 하드 베이크 온도를 조금만 높게 설정해도 현상 후 스커밍 현상이 발생한다. 파워 디바이스 웨이퍼는 큰 다이와 엄격한 열 예산을 가지므로 온도 불균일은 엣지 비드, 부정확한 CD 컨트...