赤外線を使って無鉛硬化を正しく行う方法 ウェーハを扱う際に、厳格な環境保護や無鉛化の要件を満たす必要がある場合、従来の対流式オーブンでは不十分だということがお分かりいただけるでしょう。対流式オーブンは処理速度が遅く、多くのエネルギーを消費します。 そのため、私たちの多くは赤外線を利用した硬化法に移...

リソグラフィー装置では、わずか0.5度の温度変動でも、重要な寸法が狂ってしまい、大量のウェーハが廃棄されることになります。熱管理は、交渉の対象ではありません。私たちは、ウェーハ処理時の温度を正確に制御するために、この赤外線ランプソケットを開発しました。これにより、すべてのウェーハにおいて、所定の温...