用于晶圆处理工具的红外灯插座

在光刻工艺中，哪怕温度仅有半度的偏差，都可能影响关键尺寸的精确度，从而导致整批产品报废。温度控制是一个不容妥协的问题。我们设计的这种红外灯座，就是为了确保晶圆处理时的温度始终处于理想状态——即精确控制在规定范围内，且适用于每一块晶圆。 关键点在于： 当将此灯座与短波或中波红外光源结合使用时，就能实...