为什么说黄金是真空红外加热器不可或缺的材料 如果您在真空中对硅片进行加热，那么您肯定已经注意到，常规的加热原理在这里并不适用。由于没有空气来传递热量，因此对流效应也就不存在了。此时，只能依靠辐射来传递热量。 问题在于：如果使用普通的铝合金或不锈钢反射器，那简直就是在浪费钱。大量的能量会被反射器吸收...

在光刻车间，你很清楚情况：烘烤温度漂移半度，CD（关键尺寸）就开始偏移。一个颗粒，损失的不仅仅是一片晶圆。你连续进行软烘和硬烘，然后清洗和干燥——每一步都推进了热预算。如果加热器开始性能下降，良率在计量设备提示之前就会下降。 我们技术上的重点 我们设计了基于短波近红外（NIR）元件和石英光学的真空...