用于晶圆的精密红外传感器

别再浪费热量了：处理半导体加工设备中红外线的更好方法 普通的红外灯存在一个很大的问题——它们会将热量向各个方向散发，也就是360度全方位散发热量。 在晶圆加工腔体中工作时，这无疑是个大问题。因为虽然你试图加热晶圆，但大量热量却无法被有效利用，而是直接照射到设备的内部墙壁上。结果是，设备外壳会变得非...