防止工具柜过热 大多数加热元件都会散发热量，这些热量会向各个方向扩散——也就是360度范围内。在空间有限的半导体生产环境中，这就成了一个问题。内侧的墙壁会吸收大量热量，很快，设备就会变得非常烫，以至于触碰时会有危险。 为了解决这个问题，我们采用定向红外加热技术。这样，热量就能被精准地引导到需要加热...

保持半导体晶圆的清洁，从而提高生产效率 在加热半导体晶圆时，温度只是其中一个因素而已。真正的难题其实是灰尘。在100级洁净室中，哪怕只有一小片杂质，都足以毁掉整批硅晶圆。这既令人沮丧，又会造成巨大损失，而其实这种问题是可以完全避免的。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英以及金涂层。这样就能在污染发...

别再让加热元件损害你的晶圆生产质量了 如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道那有多糟糕。哪怕有一点点涂层碎片或化学气体从灯管中泄漏出来，都会导致产品质量下降。这真是令人沮丧——你花了大量资金来打造理想的制造环境，结果却因为普通的红外线灯而毁掉了整个批次的产品。 我们找到了解决办法：我们改用高...

危险环境中的工程安全措施 让我们来谈谈洁净室的问题。具体来说，就是那种空气中充满各种易挥发化学物质的洁净室——这些化学物质具有易燃性、腐蚀性，极其危险。 在这样的环境中，绝不能忽视安全问题。哪怕是一点小的火花，都可能引发灾难。因此，我们设计的红外线加热灯就是为应对这种环境而制造的。它们的功能不仅仅...