用于冲洗的防水红外灯

在半导体制造过程中减少碳排放（同时避免损坏设备） 在处理半导体制造的清洗步骤时，需要找到一个完美的平衡点。必须尽快去除晶圆上的水分，但同时又不能让任何杂质进入晶圆表面。 长期以来，人们一直依赖对流加热方式——也就是用热风来烘干晶圆。但我们找到了更好的方法：使用防水的红外线灯。 潮湿环境带来的挑战...