防止意外爆炸：工厂中的红外干燥技术
如果在工厂里对晶圆或基板进行干燥处理，你肯定知道其中的挑战所在。通常情况下，需要处理的都是那些极易燃烧的残留物。在这种环境中，普通的红外灯根本无法使用——它反而可能成为引发事故的隐患。哪怕只是一个小火花或过热的部件，都可能导致灾难性后果。
为了解决这个问题，我们完全放弃了开放式红外灯，而是采用密封式的红外系统。
关键在于密封性
我们不会仅仅给灯泡加上一个盖子就万事大吉了。我们会使用密封性极好的材料——通常是石英或蓝宝石——将其封装在防爆外壳中。这样就能在热量与化学蒸汽之间形成一道屏障，让那些易挥发的化学物质远离电气触点。即便灯泡烧坏了，密封结构也能确保没有火花或多余的热量泄漏到腔体内部。这样一来，就能避免一切安全隐患。
如何应对高温问题
很多时候，问题出在高温上。高功率的灯泡会产生极高的温度，而如果外壳本身也变成了点火源，那就又回到了原点。为了解决这个问题，我们使用了专门设计的散热合金和支架，从而将热量有效地引导到需要加热的地方——也就是基板所在的位置。同时，外壳的设计也能确保其表面温度不会达到可燃点。
需要做出的妥协
不过，这样做也有缺点：当在灯丝和目标物之间加入一层介质后，灯泡的辐射效率就会有所下降。你无法获得与直接使用灯泡时相同的辐射效率。因此，你可能需要提高灯泡的功率，或者让部件在高温环境下停留更长时间才能实现干燥效果。不过，为了确保实验室的安全，这点代价还是值得的。
只要确保使用正确的防爆装置，并仔细校准传感器，就能避免一切风险，让生产流程顺利进行。