Trong quá trình sản xuất, hiện tượng dịch chuyển nhiệt không chỉ thể hiện rõ trên biểu đồ mà còn gây ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng sản phẩm. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 2°C trong quá trình sấy phim quang học, điều đó đã có thể làm mất đi toàn bộ kết quả sản xuất. Còn trong quá trình sấy wafer, sẽ xuất hiện những vết bẩn và các hạt bám vào bề mặt wafer. Phương pháp sử dụng tia hồng ngoại giúp khắc phục được những vấn đề này.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật: Tia hồng ngoại giúp truyền năng lượng đến đúng vị trí và vào đúng thời điểm cần thiết, mà không làm cho buồng sản xuất trở thành một “không gian nóng”. Các thiết bị phát tia hồng ngoại của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong khoảng ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Việc duy trì môi trường sạch cấp độ 1–100 cũng trở nên dễ dàng hơn, nhờ vào việc sử dụng các vật liệu ít phát ra khí và không tạo ra hạt bẩn. Quá trình sấy phim quang học diễn ra một cách đồng đều, với độ chính xác cao. Hệ thống này cũng được thiết kế để hoạt động liên tục 24/7, với các khoảng thời gian bảo trì được lên kế hoạch một cách cẩn thận, nhằm tránh ảnh hưởng đến lịch trình sản xuất.
Tại sao phương pháp này hiệu quả? Trong quá trình sấy wafer, tia hồng ngoại giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt wafer mà không gây ra sự thay đổi nhiệt độ quá mức, từ đó tránh được các khiếm khuyết. Trong quá trình in ấn, phương pháp sấy này giúp đảm bảo các kích thước quan trọng của wafer luôn ổn định, vì nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ. Trong quá trình đóng gói, việc xử lý wafer diễn ra nhanh hơn và tiết kiệm năng lượng hơn. Trong quá trình làm sạch và sấy khô, các chất cặn bẩn sẽ bốc hơi hoàn toàn, giúp giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Kết quả là số lượng wafer bị hỏng giảm, quy trình sản xuất ổn định hơn, và năng suất cao hơn.
Những điều cần lưu ý: Tia hồng ngoại chỉ hoạt động hiệu quả khi tầm nhìn không bị cản trở. Những vật thể che khuất ánh sáng có thể tạo ra những vùng lạnh, vì vậy cần thiết kế cách bố trí các thiết bị phát tia hồng ngoại một cách cẩn thận. Cần đảm bảo rằng nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ, và tính chất phát xạ của các vật liệu được sử dụng cũng cần được xem xét kỹ lưỡng. Nếu được thiết lập đúng cách, hệ thống này sẽ mang lại hiệu suất ổn định với chi phí vận hành thấp, mà không ảnh hưởng đến thời gian hoạt động của máy móc.