Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litography, khoảng cách giữa bóng đèn và tấm wafer không phải là yếu tố không quan trọng – đó chính là thông số cần được điều chỉnh một cách chính xác. Nếu khoảng cách quá gần, sẽ dẫn đến tình trạng nhiệt độ tăng quá mức, khí từ chất chống phản ứng hóa học thoát ra ngoài, và xuất hiện nhiều hạt bụi. Ngược lại, nếu khoảng cách quá xa, việc nung tấm wafer sẽ không hiệu quả, thời gian nung sẽ kéo dài, và chu kỳ sản xuất sẽ bị ảnh hưởng. Chúng tôi thiết kế các mô-đun gia nhiệt dựa trên khoảng cách này, coi đó là yếu tố then chốt trong quy trình kiểm soát.
Chúng tôi sử dụng nguồn ánh sáng hồng ngoại tần số thấp, với đầu ra từ nguồn halogen và bộ phát ánh sáng làm từ sợi carbon. Điều này giúp tạo ra phản ứng nhiệt nhanh chóng, với khối lượng nhiệt thấp. Trên toàn bộ diện tích hoạt động, độ đồng đều của nhiệt độ trên tấm wafer được duy trì ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của các giá trị nhiệt độ được đảm bảo nhờ hệ thống đo nhiệt độ chính xác. Nền tảng này phù hợp với môi trường sản xuất có mức độ sạch từ Class 1–100. Các vật liệu và bộ phận kín được chọn lựa kỹ lưỡng để đảm bảo không có hạt bụi nào được tạo ra trong quá trình nung. Các chế độ nung mềm và nung cứng đều tuân thủ các tiêu chuẩn đã định, vì nhiệt độ luôn ổn định, ngay cả khi có sự thay đổi về cửa ra vào hoặc việc thay thế tấm wafer.
Kết quả là: các thông số kỹ thuật quan trọng vẫn được duy trì ở mức ổn định, lượng bụi được tạo ra giảm đi, và số lượng sản phẩm cần sửa chữa cũng giảm. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì nguồn nhiệt chỉ hoạt động khi cần thiết và có khả năng làm mát nhanh chóng – không có tình trạng nhiệt độ dư thừa. Độ tin cậy của thiết bị được thể hiện qua thời gian hoạt động: chúng tôi có những thiết bị hoạt động hơn 5.000 giờ mà độ lệch nhiệt độ ít hơn 5%, và không có trường hợp ngừng hoạt động do lỗi từ mô-đun gia nhiệt. Lịch trình sản xuất của bạn sẽ dựa trên các yếu tố hóa học và quy trình xử lý, chứ không phải dựa trên thời gian cần để máy nóng lên.
Mô-đun này có kích thước nhỏ gọn, nhưng vẫn cần có khoảng trống để không khí lưu thông và bảo trì. Hãy dành 200 mm khoảng trống ở phía đầu vào. Việc tích hợp mô-đun này vào hệ thống rất đơn giản, nhờ vào các khớp nối tiêu chuẩn và hệ thống điều khiển 24V. Tuy nhiên, thông số điều khiển cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với loại chất chống phản ứng hóa học và cấu trúc của tấm wafer. Thời gian lắp đặt cũng rất ngắn – chỉ cần điều chỉnh các thông số PID và độ phản xạ ánh sáng cho phù hợp với điều kiện sản xuất.