Trên sàn fab, một sự thay đổi 0.5°C trong quá trình kích hoạt dopant đủ để đẩy điện trở bề mặt ra ngoài thông số kỹ thuật và biến toàn bộ lô thành phế liệu. Chúng tôi đã xây dựng máy sưởi hồng ngoại cho quá trình kích hoạt dopant để loại bỏ rủi ro đó.
Những điều thực sự quan trọng bên trong Chúng tôi sử dụng bộ phát hồng ngoại halogen sóng ngắn trong một cụm thạch anh, truyền năng lượng trực tiếp vào wafer với phản ứng dưới một giây. Trên toàn bộ vùng quy trình, tính đồng nhất ở mức wafer giữ ở ±0.1°C, và khả năng lặp lại tốt hơn ±0.2°C giữa các lô. Kiểm soát vòng kín điều khiển hồ sơ nhiệt độ, đảm bảo ngân sách nhiệt luôn chặt chẽ—không có vượt quá, không có trôi nhiệt. Tính tương thích với phòng sạch được tích hợp trong thiết kế: vật liệu phát thải thấp, bề mặt mịn, và đường dẫn không khí nhận biết hạt giữ số lượng hạt trong phạm vi Class 1–100. Đầu ra giữ ổn định trong hơn 5,000+ giờ với mức giảm cường độ dưới 5%, và thiết bị sưởi được thiết kế cho hoạt động 24/7—các khoảng thời gian bảo trì đã lên kế hoạch, không có thời gian ngừng hoạt động bất ngờ.
Tại sao điều này hoạt động ở những nơi cần thiết Kích hoạt dopant nằm ngay tại giao điểm giữa độ chính xác nhiệt và kiểm soát ô nhiễm. Với máy sưởi hồng ngoại này, bạn có được kiểm soát kích hoạt chặt chẽ mà không làm tăng sự biến thiên trong các bước nướng photoresist bên cạnh. Hồ sơ nướng mềm và nướng cứng giữ được khả năng lặp lại vì trường nhiệt ổn định và có thể dự đoán. Lợi ích là năng suất cao hơn, ít phải làm lại hơn, và thời gian chu kỳ mà bạn có thể tin tưởng. Và vì quá trình tăng nhiệt đến mức ổn định nhanh và tổn thất chờ là tối thiểu, bạn giảm mức tiêu thụ năng lượng và chi phí trên mỗi wafer mà không phải hy sinh thông số kỹ thuật.
Những gì bạn cần lên kế hoạch Cài đặt phụ thuộc vào các giao diện nhiệt phù hợp và điện áp dòng chắc chắn. Nếu dao động điện áp vượt quá ±1%, kiểm soát nhiệt độ bắt đầu trôi nếu không có cung cấp được điều chỉnh. Thiết bị sưởi phù hợp với kích thước thiết bị tiêu chuẩn, nhưng việc tích hợp phải tôn trọng hướng dòng không khí trong phòng sạch và giữ khoảng cách với các quang học nhạy cảm. Dự kiến một lần chạy khởi động ngắn để khóa công thức của bạn và xác minh các bản đồ đồng nhất trên các sản phẩm của bạn.