Trong quy trình sản xuất, việc nung khô vật liệu bằng phương pháp “nung mềm” hay “nung cứng” không chỉ là một bước thủ tục thông thường. Đó chính là yếu tố quyết định chất lượng của sản phẩm. Chỉ cần sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình xử lý vật liệu photoresist cũng đã đủ để khiến độ dày của các lớp vật liệu thay đổi, gây ra các khuyết tật và khiến toàn bộ lô sản phẩm bị hỏng. Chúng tôi đã thiết kế bộ điều khiển sấy bằng tia hồng ngoại kỹ thuật số nhằm loại bỏ rủi ro nhiệt độ này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Bộ điều khiển này sử dụng cảm biến hồng ngoại loại vòng khép kín kết hợp với bộ phát tín hiệu có khả năng phản ứng nhanh, giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định trong khoảng ±0,1°C trên toàn bề mặt wafer. Nhờ đó, chúng ta có thể tạo ra các quy trình nung khô một cách nhất quán cho vật liệu photoresist. Bộ điều khiển này còn giúp kiểm soát quá trình bay hơi của dung môi một cách hiệu quả, tránh tình trạng vật liệu bị khô quá mức.
Bộ điều khiển này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100; không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, và có khả năng giảm thiểu lượng khí thải ra môi trường. Hệ thống này hoạt động 24/7, không có thời gian ngắt quãng trong suốt quá trình sản xuất, và tuổi thọ của nó có thể lên đến 50.000 giờ.
Tại sao nó lại hiệu quả trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn và xử lý vật liệu photoresist, chất lượng sản phẩm phụ thuộc rất nhiều vào việc kiểm soát nhiệt độ. Bộ điều khiển này giúp duy trì nhiệt độ ổn định tại vị trí quan trọng nhất – trên bề mặt wafer – nhờ đó việc kiểm soát các kích thước cốt lõi của sản phẩm trở nên dễ dàng hơn.
Sự ổn định về nhiệt độ giúp rút ngắn thời gian chế tạo sản phẩm và giảm thiểu việc phải sửa chữa. Ngoài ra, hiệu suất năng lượng cao còn giúp giảm chi phí sản xuất. Kết quả là chúng ta có thể có được các sản phẩm có chất lượng ổn định, ít sản phẩm bị hỏng, và năng suất sản xuất cao hơn.
Những chi tiết quan trọng giúp bộ điều khiển hoạt động hiệu quả Việc lắp đặt bộ điều khiển khá đơn giản, nhưng việc kết nối nhiệt độ lại rất quan trọng. Bộ phát tín hiệu cần được lắp đặt sao cho phù hợp với cấu trúc của máy và độ phát xạ nhiệt của vật liệu được xử lý. Nếu không, bộ điều khiển sẽ gặp khó khăn trong việc kiểm soát nhiệt độ.
Cần lập kế hoạch cẩn thận về việc kết nối dây điện và hệ thống nối đất sao cho phù hợp với đặc tính của thiết bị. Đồng thời, cần thiết lập bảng điều khiển của bộ điều khiển sao cho phù hợp với quy trình xử lý vật liệu photoresist. Nếu làm tốt những điều này, bộ điều khiển sẽ hoạt động hiệu quả từng ngày, từng ca làm việc.