Trong quy trình in ấn trên wafer, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5 độ cũng có thể làm sai lệch các kích thước quan trọng, dẫn đến việc phải vứt bỏ toàn bộ sản phẩm được sản xuất ra. Không thể thương lượng về mức nhiệt được sử dụng trong quy trình này. Chúng tôi đã thiết kế bộ đèn hồng ngoại này để giúp duy trì nhiệt độ chính xác trong suốt quá trình sản xuất – đúng mức, đúng thời điểm, và đối với từng wafer riêng lẻ.
Điều quan trọng là phải kết hợp bộ đèn này với các bộ phát sóng hồng ngoại tầng sóng ngắn hoặc trung bình, nhằm tạo ra nhiệt độ ổn định và nhanh chóng. Mức độ đồng đều của nhiệt độ trên wafer phải ở mức ±0,1°C; đây chính là yếu tố giúp đảm bảo tính nhất quán trong quy trình sản xuất. Cường độ ánh sáng sẽ luôn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức sai lệch dưới 5%.
Vật liệu làm từ thạch anh và gốm cao purity được sử dụng để đảm bảo môi trường sạch trong các phòng sản xuất loại 1–100. Nhờ đó, số lượng hạt bụi sẽ không tăng cao, từ đó tránh được những ảnh hưởng tiêu cực đến quy trình sản xuất. Về mặt điện, bộ đèn này có thể hoạt động với điện áp 200–240 VAC, kèm theo các công tắc phù hợp và khả năng chống nhiễu điện từ. Hệ thống điều chỉnh nhiệt độ cũng rất hiệu quả và dễ kiểm soát.
Tại sao bộ đèn này lại hiệu quả trong các thiết bị sản xuất wafer? Trong các thiết bị sản xuất wafer, nhiệt độ cần được duy trì ổn định ngay lập tức. Bộ đèn này có khả năng điều chỉnh nhiệt độ nhanh chóng và duy trì mức nhiệt độ ổn định, giúp đảm bảo chất lượng của wafer từ lần sản xuất đầu tiên cho đến lần cuối cùng. Nhờ đó, chúng ta có thể giảm thiểu những sai số, tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn, và tính toán được khoảng thời gian bảo trì cần thiết.
Chi tiết kỹ thuật: Độ chính xác trong việc lắp đặt rất cao. Các bộ phận phát sóng, bộ đèn và bộ phản xạ cần được căn chỉnh sao cho khoảng cách giữa chúng dưới 0,2 mm; nếu không, mức độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Khi hoạt động ở mức công suất tối đa, nhiệt độ của bộ đèn có thể lên tới trên 600°C; vì vậy cần giữ khoảng cách an toàn với các vật liệu polymer và dây cáp gần đó.
Hãy sử dụng các phụ kiện phù hợp với môi trường sạch, và kiểm tra mức độ đồng đều của nhiệt độ sau khi lắp đặt. Bộ đèn này có thể hoạt động với hầu hết các bộ điều khiển thiết bị, nhưng có thể cần điều chỉnh lại để phù hợp với các chỉ số đo nhiệt độ.