MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 마치 “센서가 손상되지 않도록 하는” 고위험 게임을 하는 것과 같습니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떤 오염물도 남겨둘 수 없으며, 웨이퍼에 과도한 기계적 압력을 가해 변형시키는 것도 금물입니다.
그래서 우리는 단파 적외선(IR) 히터를 사용합니다. 대류 방식처럼 뜨거운 공기를 사용하는 대신, 적외선은 복사 에너지를 이용합니다. 이 방식은 훨씬 더 직접적인 방법입니다. 즉, 웨이퍼 표면의 물 분자들에게 직접 신호를 보내서 그들이 움직이도록 하는 것입니다.
공정의 효율화
기존의 건조 방식은 보통 혼란스럽습니다. 유해한 화학 용매를 사용하거나, 엄청난 전력을 소비하는 강제 공기 순환 시스템을 사용해야 합니다. 그러면 VOC가 곳곳에泄漏됩니다.
반면 적외선 방식은 다릅니다. 이것은 “건조” 공정입니다. 화학 물질이泄漏되지 않으며, 납을 함유한 촉매도 필요하지 않습니다. 오직 빛과 열만 있으면 됩니다.
더욱 좋은 점은, 물의 특정 흡수 파장을 타겟으로 한다는 것입니다. 진공 챔버나 기계의 금속 프레임을 가열하는 데 에너지를 낭비하지 않습니다. 오직 실제로 가열이 필요한 부분만을 가열합니다. 이 방식은 훨씬 효율적이며, 지구에도 더 친환경적입니다.
균형 잡기
물론, 이건 마법은 아닙니다. 물을 빠르게 증발시키기 위해 고출력의 석영 램프를 사용합니다. 하지만 이러한 강력한 에너지는 양날의 검입니다. 조금이라도 시간을 잘못 맞추면 MEMS 구조가 손상될 수 있습니다. 따라서 정확한 제어가 필요합니다.
실험실 공간 절약
가장 좋은 점 중 하나는 바로 공간 활용입니다. 큰 덕트나 거대한 송풍기를 사용하지 않기 때문에, 건조 장치의 크기가 줄어듭니다. 가열 장치를 웨이퍼 커널 바로 위에 설치할 수 있습니다. 그 결과, 전체 기계의 크기가 작아지고, 클린룸 관리도 더 용이해집니다. 또한 생산 속도를 늦추지 않으면서도 에너지를 절약할 수 있습니다. 이는 훨씬 더 합리적인 방식입니다.