폭발을 막는 방법: 공장 내에서의 IR 건조 기술 만약 공장에서 웨이퍼나 기판을 건조시킨다면, 어떤 문제가 발생할 수 있는지 잘 알고 있을 것입니다. 보통은 깨끗하게 제거해야 하는 잔여물들인데, 솔직히 말해서 이러한 물질들은 매우 인화성이 높습니다. 이런 환경에서는...

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 마치 “센서가 손상되지 않도록 하는” 고위험 게임을 하는 것과 같습니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떤 오염물도 남겨둘 수 없으며, 웨이퍼에 과도한 기계적 압력을 가해 변형시키는...