MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 마치 “센서가 손상되지 않도록 하는” 고위험 게임을 하는 것과 같습니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떤 오염물도 남겨둘 수 없으며, 웨이퍼에 과도한 기계적 압력을 가해 변형시키는...