생체센서를 제조할 때는 열적 특성이 정확해야 합니다. “충분히 잘 작동한다”는 식의 태도는 용납될 수 없습니다. 최악의 상황은 IR 램프에 미세한 전압 누수나 절연체의 손상이 발생하는 것입니다. 단 한 번의 스파크만으로도 제어 보드가 파괴되거나 센서 전체가 낭비될 수...

원하는 곳에 정확하게 열을 전달하는 방법 웨이퍼 제조 공장에서는 단순히 전력을 높이는 것만으로는 충분하지 않습니다. 그냥 과도한 에너지를 사용한다면 에너지가 낭비될 뿐입니다. 진정한 해결책은 그 광자들을 어떻게 조절할 것인가 하는 점입니다. 그래서 우리는 금으로 코팅...

무연 반도체 제품의 적절한 IR 경화 방법 이제 반도체를 건조시키는 방법에 대해 알아보겠습니다. 요즘은 규제가 매우 엄격합니다. “무연”이라는 기준과 환경 친화적인 조건을 충족시키지 못하면 문제가 생깁니다. 그래서 우리는 IR 경화 방식을 사용합니다. 이 방식은 훨씬...

와이어의 경화를 올바르게 수행하는 방법: 핵심은 반사판에 있습니다. 우리 대부분은 반도체를 건조시키는 데 적외선을 사용합니다. 왜냐하면 화학 용제나 연소 과정이 없으며, 단지 전기 에너지가 열로 변환되기 때문입니다. 이 방식은 환경 친화적이며, 납이 포함되지 않아 규...

생체센서용 램프의 단락을 방지하는 방법 생체센서를 제작할 때 가장 중요한 것은 적절한 열을 유지하는 것입니다. 이를 위해 고출력 적외선 램프를 사용하지만, 문제는 그러한 강력한 전력을 사용할 경우 전기 누출이 발생할 수 있다는 점입니다. 클린룸이나 실험실에서 작업할...

에어 히터에 의존하는 것을 그만두세요: 열 부하를 처리하는 더 나은 방법 만약 여전히 반도체 제조 과정에서 공기 순환 방식에 의존하고 있다면, 그 과정이 얼마나 번거로운지 잘 알고 있을 것입니다. 시스템을 켜고, 공기가 따뜻해질 때까지 기다린 다음, 그 열이 실제로...

반도체 제조 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 (장비를 손상시키지 않고) 반도체 제조 과정의 세척 단계에서는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 웨이퍼 위의 수분을 빠르게 제거해야 하지만, 조금이라도 오염이 생기면 안 됩니다. 오랫동안 사람들은 대류식 가열 방식을 사용해왔습니...

반도체 웨이퍼를 가열할 때, 온도는 단지 절반에 불과합니다. 진짜 문제는 바로 먼지입니다. 클래스 100급 청정실에서라도, 아주 작은 양의 오염물질만 있어도 전체 실리콘 제품을 망칠 수 있습니다. 이는 매우 성가시고 비용도 많이 드는 문제이며, 충분히 피할 수 있는...

램프가 파손되는 것으로 인해 생산성이 저하되는 상황을 막아야 합니다. 고부하가 요구되는 공장에서 램프가 파손되는 것은 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 재앙입니다. 광석관이 파손되면, 램프는 작동을 멈출 뿐만 아니라, 유리 조각들과 입자들이 실리콘 위로 흩...

클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 작업할 때는 열이 큰 문제가 됩니다. 단순히 온도를 적절하게 유지하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 화학물질이나 미세한 먼지가 웨이퍼나 의료용 플라스틱에 닿지 않도록 주의해야 합니다. 일반적인...

클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 가스가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 난방 요소에서 조금이라도 미세한 입자들이 떨어져 나오면, 전체 제품이 망가집니다. 일반적인 적외선 램프들...

안전을 지키는 방법: 휘발성 물질이 있는 곳에서 사용하는 카본 파이버 IR 램프 솔직히 말해서, 고온 램프와 가연성 화학 용매를 함께 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 청소 작업을 할 때 가장 원하지 않는 것은 스파크로 인해 작업장이 재앙의 현장으로 변하는 것입니...

UHP 적외선 히터: 반도체 제조 장비를 위한 정밀한 열 공급 솔루션 우리는 특정한 문제를 해결하기 위해 UHP(초고순도) 적외선 할로겐 히터를 개발했습니다. 바로 원하는 곳에만 열을 전달해야 하는 경우입니다. 반도체 장비에서는 챔버 벽이 따뜻해지는 것은 낭비일 뿐만...

팹 램프용 교체 필라멘트: 생산 공정을 계속 유지시켜 주는 솔루션 팹 램프에 대해 알아보겠습니다. 이것들은 단순한 가열 요소가 아닙니다. 반도체 제조 공정에서의 혹독한 환경을 견딜 수 있도록 특별히 설계된 정밀한 도구입니다. 만약 램프 중 하나가 고장 나면, 전체 생...

서론 저희는 포토레지스트 처리 공정을 위해 이 적외선 램프를 개발했습니다. 이 램프는 고강도 할로겐 램프로, 웨이퍼나 기판을 처리할 때 빠르고 정확하게 열을 공급할 수 있도록 설계되었습니다. 핵심은 간단합니다. 일관된 포토레지스트 성능을 위해 필요한 열에너지를 제공해...

리소그래피 공정에서는, 단지 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 전체 제품군이 폐기될 수도 있습니다. 열 관리는 협상의 대상이 될 수 없습니다. 우리는 웨이퍼 처리 장비용으로 이러한 적외선 램프 소켓을 개발했습니다. 이를...

공정 현장에서 소프트 베이크 온도가 1°C만 변해도 포토레지스트 프로파일이 달라진다. 하드 베이크 온도를 조금만 높게 설정해도 현상 후 스커밍 현상이 발생한다. 파워 디바이스 웨이퍼는 큰 다이와 엄격한 열 예산을 가지므로 온도 불균일은 엣지 비드, 부정확한 CD 컨트...