진공 호환 적외선 히터

리소그래피 작업장에서의 상황 베이크 온도가 0.5도만 변해도 CD가 흔들리기 시작한다는 점은 익히 알고 있을 것이다. 한 개의 입자만 있어도 웨이퍼 이상의 손실이 발생한다. 연속으로 소프트 베이크와 하드 베이크를 진행한 후 세척과 건조를 하는데, 각 단계가 열 예산을...