패브랩용 고온 용광로

팹 플로어에서 포토레지스트 베이크는 선택이 아니라 열 예산입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 2°C 정도의 편차는 주요 치수 제어를 망치고 그에 따른 리소그래피 결함을 유발합니다. 우리는 적외선 가열을 기반으로 고온 팹랩 퍼니스를 설계하였으며, 서브 밀리미터 수...