웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

리소그래피 공정에서는 램프와 웨이퍼 사이의 거리가 단순한 부가적인 요소가 아닙니다. 이 거리는 반드시 적절하게 설정해야 하는 중요한 파라미터입니다. 너무 가까우면 열 폭주나 포토레지스트의 가스 방출, 그리고 입자 발생 문제가 생깁니다. 반대로 너무 멀면 충분한 에너지...