MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损伤 在干燥MEMS传感器晶圆时，实际上就是在玩一场“不能损坏传感器”的高风险游戏。必须彻底去除水分，但同时不能留下任何杂质，更不能给晶圆施加过大的机械应力，以免使其变形。 因此，我们选择使用短波红外线加热器。与通过热空气对流来加热不同，红外线是通过辐射来加热的，...