防止工具柜过热
大多数加热元件都会散发热量，这些热量会向各个方向扩散——也就是360度范围内。在空间有限的半导体生产环境中，这就成了一个问题。内侧的墙壁会吸收大量热量，很快，设备就会变得非常烫，以至于触碰时会有危险。
为了解决这个问题，我们采用定向红外加热技术。这样，热量就能被精准地引导到需要加热的地方——即被加工的工件上。这样一来，设备的壁面就不会过热，操作人员也不必担心被烫伤。
我们是如何传递热量的
我们使用带有反射层的短波红外灯。这种灯就像一个“热光手电筒”，它能把热量直接传递到目标物体上，而不是浪费在空气或机器框架上。速度非常快。因为没有热量在设备内部扩散，所以无需让空调系统过度工作来保持室内温度的适宜性。
关于特氟龙绝缘线的使用
高功率的红外灯会产生极高的热量。如果使用普通的PVC或硅胶绝缘线，它们很快就会被烧毁。最终会导致绝缘层损坏，进而引发短路。因此，我们使用特氟龙涂层绝缘线。这种材料能够承受高温而不会损坏。
一个小贴士：要注意导线的规格。如果为了节省空间而选择过细的导线，那么电压降就会增加，从而影响加工精度。而在这个行业里，精度才是最重要的。
需要注意的一些事项
定向加热需要精确控制。如果灯具的位置偏差几毫米，那么晶圆上就会出现冷点，这会严重影响加工质量。为了避免这种情况，必须确保安装支架固定牢固，避免任何振动。另外，虽然特氟龙很耐热，但它比硅胶更硬。在狭窄的空间里，不要试图将其强行弯折，否则会给端子带来过大的压力。