如何保持100级洁净室的纯净状态
如果你们正在运营100级洁净室，那么你们肯定知道污染带来的巨大麻烦。哪怕只是有一小片杂质或加热元件释放出的微量气体，都可能毁掉整批产品。
大多数普通加热灯并不适合用于这种环境。一旦达到最高温度，它们就会开始剥落，或者泄漏出挥发性有机化合物。这无疑是个大问题。
正因为如此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。
为什么石英如此重要？
我们使用的其实是经过高度净化的熔融硅，其纯度足以防止金属离子的迁移，即便在高温环境下也是如此。这种材料不会因热应力而产生烟雾或分解，从而确保提供纯净的热能。没有空气中的颗粒物，也没有任何残留物，更不会损坏基材。它就是这么可靠。
更高的功率，更小的体积
由于这种石英能够承受高温，我们可以提高功率，而无需担心会破坏真空环境或洁净室的完整性。此外，由于红外线可以被集中照射，因此不需要使用庞大的加热器阵列。这样就能节省大量空间。
不过有一点需要注意：虽然石英的化学性质很稳定，但它不耐震动。如果生产线有剧烈振动的话，请务必使用减震装置来固定这些灯管。否则，灯管很容易破裂，那可真是麻烦事，没人愿意去处理这种状况。
安装方法
我们设计的这些灯管可以直接替换原有的灯管。我们知道，洁净室每停机一分钟，都会造成巨大的损失，因此我们尽量简化了安装流程。密封件非常严密，可以防止连接处出现泄漏。在接线时，也要确保电气连接牢固，以避免电弧现象的产生——因为电弧会产生碳沉积物，从而立即破坏洁净室的清洁度。
对于那些处理半导体晶圆的人来说，这些灯管能提供精确的控制能力，确保基材不受损伤。
最后一个小建议：请检查冷却风扇是否平衡。如果风扇有晃动的情况，那么振动会加速灯管的损坏。