Làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả mà không gây ra vấn đề gì
Khi làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS, bạn thực chất đang chơi một trò chơi đầy thách thức: phải loại bỏ hết độ ẩm trên bề mặt wafer, nhưng đồng thời không được để lại bất kỳ chất bẩn nào, và cũng không được tạo ra áp lực quá lớn lên wafer, gây ra hiện tượng biến dạng.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại cường độ cao. Thay vì sử dụng luồng không khí nóng để làm khô wafer, tia hồng ngoại tác động trực tiếp lên các phân tử nước trên bề mặt wafer, khiến chúng di chuyển.
Quy trình làm sạch
Các phương pháp làm khô truyền thống thường gây ra nhiều rắc rối. Bạn có thể phải đối mặt với các chất hóa học nguy hiểm, hoặc các hệ thống sưởi bằng khí nén tiêu tốn nhiều năng lượng, đồng thời gây ô nhiễm môi trường.
Ngược lại, phương pháp sử dụng tia hồng ngoại hoàn toàn khác. Đó là phương pháp “khô” – không có chất hóa học nào được sử dụng, cũng không cần chất xúc tác chứa chì. Chỉ cần ánh sáng và nhiệt lượng là đủ.
Điều tuyệt vời là chúng ta có thể tập trung nhiệt lượng vào các vùng cụ thể trên bề mặt wafer. Như vậy, chúng ta không cần lãng phí điện năng để làm nóng buồng chân không hay khung kim loại của máy móc. Chúng ta chỉ cần làm nóng những phần cần thiết mà thôi. Đó là cách tiết kiệm năng lượng hiệu quả.
Việc cân bằng các yếu tố
Tuy nhiên, đây không phải là phép màu. Để làm cho nước bay hơi nhanh, chúng ta sử dụng các bóng đèn thạch anh có công suất cao. Nhưng nguồn năng lượng này lại mang tính hai mặt. Nếu thời gian sưởi không chính xác, có thể khiến các cấu trúc MEMS bị hư hỏng. Vì vậy, chúng ta cần sử dụng bộ điều khiển PID chính xác, cùng với các cơ cấu đóng mở tự động ngay khi công việc hoàn thành.
Tiết kiệm không gian trong phòng thí nghiệm
Một ưu điểm lớn của phương pháp này là giúp tiết kiệm không gian. Vì chúng ta không cần sử dụng các ống dẫn khí hoặc máy thổi khí lớn, nên kích thước của thiết bị sấy giảm đi đáng kể. Chúng ta có thể đặt các bóng đèn sưởi ngay phía trên tấm wafer. Điều này giúp giảm kích thước tổng thể của máy móc, đồng thời giúp quản lý phòng thí nghiệm dễ dàng hơn. Đó là cách thông minh để xây dựng các thiết bị phục vụ cho công việc nghiên cứu.