İşlem sırasında termal sapmalar sadece grafiklerde görünmez; aynı zamanda ürün kalitesini de olumsuz etkiler. Fotoresistin yumuşak fırınlanması sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik bile tüm litografi işlemlerini bozabilir. Waferin kurutulması sırasında ortaya çıkan soğuk bölgeler ise yapışkan gibi davranan çizgilere ve partiküllere neden olur. Kızılötesi ısıtma ise bu tür sorunları doğrudan ortadan kaldırır.
Teknik açıdan önemli olanlar
Kızılötesi ısıtma, enerjiyi ihtiyaç duyulan yerde ve zamanda sağlar; böylece işlem odasını aşırı sıcak bir ortama dönüştürmez. NIR vericilerimiz substratı hızlı bir şekilde ısıtır ve wafer üzerindeki sıcaklık stabilitesini ±0,1°C aralığında korur. Temiz oda sınıfları 1–100 arasında mümkündür; çünkü ekipmanlar düşük gaz salımına sahip malzemelerden yapılmıştır ve hiçbir parçacık salınmaz. Fotoresistin fırınlanması süreci tekrarlanabilir sonuçlar verir ve sistem 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; planlanan bakım aralıkları da iş akışını bozmaz.
Neden tercih edilir?
Waferin kurutulmasında kızılötesi ısıtma, yüzeydeki nemleri termal aşırılıklar olmadan uzaklaştırır; böylece kusurların oluşması engellenir. Litografide ise yumuşak ve sert fırınlama işlemleri sayesinde tutarlı boyutlar elde edilir. Paketleme işlemlerinde ise daha hızlı kuruma sağlanır ve daha az enerji kullanılır. Temizleme ve kurutma işlemlerinde ise artıklar temiz bir şekilde buharlaşır; bu da yeniden işleme gereksinimlerini azaltır. Sonuç olarak daha az atık wafer, daha stabil bir işlem süreci ve güvenilir bir üretim kapasitesi elde edilir.
Zor yollarla öğrenilenler
Kızılötesi ısınma, görüş hattının net olduğu durumlarda en iyi şekilde çalışır. Chuck veya diğer donanımlardan kaynaklanan gölgelenmeler lokal soğuk bölgeler oluşturabilir; bu yüzden ekipmanların entegrasyonu ve vericilerin yerleştirilmesi önceden planlanmalıdır. Termal bütçeyi mevcut prosedürlerle uyumlu hale getirin ve filmler üzerindeki emisyon davranışlarını kontrol edin. Doğru şekilde ayarlandığında daha düşük işletim maliyetleriyle tekrarlanabilir sonuçlar elde edilir; işletim süresinden de ödün verilmez.