Üretim alanında, yumuşak veya sert fırınlama işlemi sadece bir adım değildir; bu bir kontrol noktasıdır. Fotoresist işlemleri sırasında meydana gelen 1°C’lik bir sıcaklık değişimi bile çizgi genişliklerinde değişikliklere neden olabilir, kusurların ortaya çıkmasına yol açabilir ve tüm ürünlerin atılmasına sebep olabilir. Bu termal riskleri ortadan kaldırmak için Dijital İnfrakızıl Kurutucu Kontrol Cihazını geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar: Kontrol cihazı, yonga yüzeyinde ±0,1°C’lik bir hassasiyetle sabit bir sıcaklık sağlamak için kapalı döngülü bir NIR sensörü ve hızlı tepki veren bir verici kullanır. Böylece fotoresist için tekrarlanabilir fırınlama profilleri elde edilir ve rampa kontrolü sayesinde çözücülerin buharlaşma hızı korunur. Bu sistem, temiz oda koşullarına uygun şekilde tasarlanmıştır; sınıf 1–100 standardlarına uygundur, parçacık üretmez ve düşük gaz salınımına sahiptir. Sistem 7/24 çalışır; çok vardiya sistemlerinde planlanmamış arızalar olmaz ve kullanım ömrü 50.000 saatin üzerindedir.
Litografide neden işe yarıyor? Litografi ve fotoresist işlemlerinde verimlilik, sıcaklık kontrolüne bağlıdır. Bu kontrol cihazı, sıcaklığı en kritik noktalarda, yani yonga üzerinde sabit tutar; böylece kritik boyutların kontrolü öngörülebilir hale gelir. Tekrarlanabilirlik sayesinde kalifikasyon süreçleri kısalır ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. Enerji verimliliği ise her parti başına düşen maliyetleri azaltır. Sonuç olarak tutarlı profil elde edilir, daha az ürün atılır ve sıcaklık değişikliklerinden endişe etmeden istikrarlı bir üretim gerçekleştirilir.
Bunu mümkün kılan detaylar: Kurulum oldukça basittir; ancak termal bağlantı son derece önemlidir. Vericinin, chuck’un geometrisine ve taşıyıcının ışınım özelliklerine uygun şekilde monte edilmesi gerekmektedir. Aksi takdirde döngü, yansımalar ve termal gecikmelerle mücadele etmek zorunda kalır. Arayüz kablolarını ve topraklamayı, ekipmanınızın gürültü seviyelerine göre planlayın ve kontrol cihazının profillerini fotoresist fırınlama talimatlarıyla eşleştirin. Bu detayları doğru şekilde ayarlarsanız, cihaz günlerce, vardiyalar boyunca sorunsuz çalışır.