Litografi sürecinde, yarım derece bile olsa meydana gelen küçük sıcaklık değişiklikleri, kritik boyutları etkileyebilir ve tüm ürünlerin boşa gitmesine neden olabilir. Termal bütçe, pazarlık konusu yapılabilecek bir şey değildir. Biz bu kızılötesi lamba soketini, işlem sıcaklığını tam olarak istenen seviyede tutabilmek için ürettik; böylece her bir wafer üzerindeki işlem sorunsuz bir şekilde gerçekleşir.
Önemli olan detaylar
Bu soketi kısa dalga veya orta dalga NIR vericilerle kullanırsanız hızlı ve düzenli bir ısı transferi elde edersiniz. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarındadır; bu da yumuşak ve sert pişirme işlemlerinin tekrarlanabilir olmasını sağlar. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
Kuarz arayüzü ve yüksek saflıkta seramik gövde, 1–100 sınıfı temiz odalar için tasarlanmıştır; böylece parçacık sayısı artmaz ve işlem odasına girmez. Elektriksel olarak 200–240 VAC girişini destekler; ayrıca araçlarla uyumlu konektörler ve entegre EMI koruması bulunur. Termal döngü kontrol altında kalır.
Neden bu sistem gerçek wafer işlemlerinde işe yarar?
Wafer işlemlerinde ısının hızlı bir şekilde uygulanması ve ardından sabit kalması gereklidir. Bu soket, belirlenen sıcaklığa hızla ulaşır ve orada sabit kalır; böylece ilk waferden son wafera kadar fotoresist profilleri standartlara uygun kalır. Daha az hata, daha yüksek verim ve öngörülebilir bakım aralıkları elde edilir.
NIR teknolojisi verimli bir şekilde enerji aktarımı sağlar; böylece enerjinin büyük bir kısmı waferde ısıya dönüşür, çerçevede boşa harcanmaz. Binlerce waferin işlenmesi sırasında lamba soketinin termal değişimleri nedeniyle planlanmayan duruşlar yaşanmaz.
Pratik detaylar
Montaj toleransları oldukça düşüktür. Verici, soket ve yansıtıcıların 0,2 mm içinde hizalanması gerekmektedir; aksi takdirde homojenlik bozulur. Maksimum güçte soket gövdesi 600°C’nin üzerine çıkabilir; bu yüzden yakındaki polimerler ve kablolarla araya mesafe bırakılmalıdır.
Belirtilen termal arayüzleri ve temiz oda uyumlu bağlantı elemanlarını kullanın ve montajdan sonra bir homojenlik haritası çıkarın. Bu soket çoğu cihaz kontrol cihazıyla çalışır; ancak pirometre okumalarınıza uyum sağlamak için bir kalibrasyon ayarı gerekebilir.