적외선을 활용해 무연 처리를 제대로 수행하는 방법 웨이퍼를 다루는 작업을 할 때, 엄격한 환경보호 규정이나 무연 요구사항을 준수해야 한다면, 기존의 대류식 오븐은 그다지 효과적이지 않다는 것을 아실 것입니다. 대류식 오븐은 처리 속도가 느리고 에너지도 많이 소모됩니다...

리소그래피 공정에서는, 단지 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 전체 제품군이 폐기될 수도 있습니다. 열 관리는 협상의 대상이 될 수 없습니다. 우리는 웨이퍼 처리 장비용으로 이러한 적외선 램프 소켓을 개발했습니다. 이를...