반도체 제조 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 (장비를 손상시키지 않고)
반도체 제조 과정의 세척 단계에서는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 웨이퍼 위의 수분을 빠르게 제거해야 하지만, 조금이라도 오염이 생기면 안 됩니다.
오랫동안 사람들은 대류식 가열 방식을 사용해왔습니다. 즉, 따뜻한 공기를 곳곳에 불어넣는 방식이죠. 하지만 우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방수 기능이 있는 적외선 램프입니다.
습한 환경에서의 문제점
세척 과정에서는 하드웨어가 큰 손상을 입습니다. 지속적인 습도와 화학 물질의 영향으로 인해 일반적인 램프는 곧 고장나버립니다. 이를 방지하기 위해 우리는 특수한 석영 소재의 케이스와 밀폐된 구조를 사용합니다. 이를 통해 수분이 전극에 닿는 것을 막을 수 있습니다. 또한, 높은 와트 밀도를 사용하여 웨이퍼 표면을 즉시 건조시킬 수 있습니다. 웨이퍼가 그러한 상태에 머무는 시간이 짧을수록 수율이 높아집니다.
“방수” 기능에 대하여
“방수”라고 할 때, 우리는 비옷을 의미하는 것이 아닙니다. 우리가 말하는 것은 고온에서도 스팀과 물방울이 내부로 들어오지 못하도록 하는 고온 가스켓과 밀폐된 구조입니다. 하지만 한 가지 문제가 있습니다. 석영은 열을 받으면 팽창합니다. 만약 고정용 부품이 너무 단단하다면, 열이 가해질 때 튜브가 부서질 수 있습니다. 이런 문제를 피하기 위해 우리는 팽창률을 정확하게 맞춥니다.
에너지 절약
대형 강제 공기 순환 오븐 대신 목표 온도에 맞게 에너지를 직접 전달하는 적외선 가열 방식을 사용하면 지구에 큰 도움이 됩니다. 실내의 모든 공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하는 대신, 적외선은 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 이 방식은 효율적이며, 웨이퍼당 필요한 전력량을 줄여줍니다. 그래서 “친환경 공장” 기준을 충족하기가 훨씬 쉬워집니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 이러한 램프는 많은 양의 복사열을 발생시킵니다. 만약 캐비닛의 냉각 및 환기 시스템이 제대로 작동하지 않는다면, 주변 센서들이 과열될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 정밀한 PID 제어를 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 목표 온도에 도달할 수 있으며, 과열로 인한 문제도 예방할 수 있습니다.