थर्मल ड्रिफ्ट का प्रभाव केवल ग्राफ पर ही नहीं दिखता; यह उत्पादन क्षमता को भी कम कर देता है। फोटोरेजिस्ट को सॉफ्ट बेक करने के दौरान 2°C का अंतर ही पूरी लिथोग्राफी प्रक्रिया को नष्ट कर सकता है। वेफर को सुखाने के दौरान ठंडे क्षेत्रों के कारण वेफर पर धब्बे एवं कण बन जाते हैं। इन्फ्रारेड हीटिंग ऐसी समस्याओं को दूर करने में मदद करती है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
इन्फ्रारेड, ऊर्जा को ठीक उसी स्थान एवं समय पर पहुँचाता है, बिना चेंबर को गर्म करने की आवश्यकता के। हमारे NIR एमिटर, सब्सट्रेट पर तेजी से ऊर्जा भेजते हैं, जिससे वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही बना रहता है। क्लीनरूम क्लास 1–100 भी संभव है, क्योंकि इस हार्डवेयर में कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है। फोटोरेजिस्ट को बेक करने की प्रक्रिया भी नियंत्रित रहती है, एवं यह सिस्टम 24/7 काम करने के लिए उपयुक्त है।
इन्फ्रारेड का लाभ क्या है?
वेफर को सुखाने के दौरान इन्फ्रारेड, सतह से नमी को हटा देता है, जिससे दोष नहीं बनते। लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं के कारण वेफर के आकार में एकरूपता बनी रहती है। पैकेजिंग में, इन्फ्रारेड के कारण प्रक्रिया तेजी से हो जाती है, एवं कम ऊर्जा की आवश्यकता होती है। सफाई एवं सुखाने की प्रक्रियाओं में अवशेष साफ हो जाते हैं, जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती। इसके परिणामस्वरूप अधिक वेफर बर्बाद नहीं होते, प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं उत्पादन दर भी अच्छी रहती है।
क्या चीजें कठिनाई से ही सीखी जा सकती हैं?
जब दृष्टि-मार्ग साफ होता है, तभी इन्फ्रारेड प्रभावी होता है। चक्स या फिक्स्चरों के कारण ठंडे क्षेत्र बन जाते हैं; इसलिए टूलों एवं एमिटरों की व्यवस्था पहले ही की जानी चाहिए। थर्मल बजट को अपनी मौजूदा प्रक्रियाओं के अनुरूप ही व्यवस्थित करना आवश्यक है। यदि इसे सही तरीके से व्यवस्थित किया जाए, तो कम लागत में ही बेहतर प्रदर्शन प्राप्त किया जा सकता है।