लिथोग्राफी प्रक्रिया में, थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन प्रक्रिया के महत्वपूर्ण मापदंडों को बिगाड़ सकता है, जिससे पूरा उत्पादन बर्बाद हो सकता है। थर्मल बजट को तो बदला ही नहीं जा सकता। हमने वेफर उपकरणों के लिए ऐसे इन्फ्रारेड लैंप सॉकेट बनाए हैं, ताकि प्रक्रिया का तापमान हमेशा सही स्तर पर बना रहे।
महत्वपूर्ण बातें:
यदि इस सॉकेट को शॉर्ट-वेव या मीडियम-वेव NIR एमिटरों के साथ इस्तेमाल किया जाए, तो तेज़ एवं स्थिर ऊष्मा प्राप्त होती है। वेफर पर तापमान की समानता ±0.1°C तक रहती है; ऐसे में ‘सॉफ्ट बेक’ एवं ‘हार्ड बेक’ प्रक्रियाएँ नियंत्रित रहती हैं। 5,000 घंटों से अधिक समय तक आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तापमान में 5% से अधिक का परिवर्तन नहीं होता।
डिज़ाइन:
क्वार्ट्ज इंटरफेस एवं उच्च-शुद्धता वाले सिरेमिक घटकों का उपयोग क्लास 1–100 क्लीनरूमों में किया गया है; ऐसे में कणों की संख्या नियंत्रित रहती है, एवं वे प्रक्रिया कक्ष में नहीं जा पाते। विद्युत रूप से, यह 200–240 VAC इनपुट को सहन कर सकता है; इसमें उपकरणों के अनुरूप कनेक्टर एवं ईएमआई शील्डिंग भी है। थर्मल लूप नियंत्रणीय रहता है।
वास्तविक उपकरणों में इसका उपयोग:
वेफर उपकरणों में, ऊष्मा को तेज़ी से एवं स्थिर रूप से प्रदान करना आवश्यक है। यह सॉकेट तुरंत ही सही तापमान पर पहुँच जाता है, ऐसे में प्रत्येक वेफर पर फोटोरेजिस्ट का तापमान नियंत्रित रहता है। इससे उत्पादन में वृद्धि होती है, एवं रखरखाव की आवश्यकताएँ भी कम हो जाती हैं।
अन्य विवरण:
माउंटिंग की सटीकता बहुत ही अधिक है… एमिटर, सॉकेट एवं रिफ्लेक्टर को 0.2 मिमी के भीतर ही संरेखित करना आवश्यक है; अन्यथा समानता प्रभावित हो जाएगी। उच्च ऊर्जा स्तर पर, सॉकेट का तापमान 600°C से भी अधिक हो सकता है… इसलिए निकटवर्ती पॉलिमरों एवं केबलों से दूर रखना आवश्यक है। निर्दिष्ट थर्मल इंटरफेस एवं क्लीनरूम-अनुकूल फिक्सचरों का ही उपयोग करें… स्थापना के बाद बेसलाइन समानता मापें। यह सॉकेट अधिकांश उपकरण नियंत्रकों के साथ काम करता है… लेकिन आपको अपने पाइरोमीटर के मापों के अनुरूप कैलिब्रेशन आवश्यक होगा।