फैब फ्लोर पर, “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” कोई साधारण प्रक्रिया नहीं है… यह तो एक महत्वपूर्ण चरण है। फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण के दौरान 1°C का भी अंतर, वेफर की लाइनों को बदल सकता है, दोष पैदा कर सकता है, और पूरे उत्पाद को बर्बाद कर सकता है। हमने ऐसे ही ऊष्मा-संबंधी जोखिमों को दूर करने हेतु “डिजिटल इन्फ्रारेड ड्रायर कंट्रोलर” विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह कंट्रोलर, बंद-लूप NIR सेंसर एवं तेज़ प्रतिक्रिया वाले एमिटर का उपयोग करके, वेफर की सतह पर ±0.1°C की सटीकता के साथ तापमान को नियंत्रित करता है। इससे फोटोरेजिस्ट के प्रसंस्करण हेतु एक समान प्रक्रिया संभव हो जाती है… एवं विलायकों के वाष्पीकरण की प्रक्रिया भी नियंत्रित रहती है।
यह कंट्रोलर क्लीनरूम की आवश्यकताओं के अनुरूप है… क्लास 1–100 के अनुरूप, बिना किसी कण-निर्माण के… एवं कम गैस-निकासी वाला। यह सिस्टम 7×24 घंटे काम करता है… बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के… एवं इसकी सेवा-अवधि 50,000 घंटों से अधिक है।
लिथोग्राफी में इसकी उपयोगिता:
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, उत्पादन की गुणवत्ता तापमान-नियंत्रण पर ही निर्भर है। यह कंट्रोलर, वेफर पर ही तापमान को स्थिर रखता है… इससे महत्वपूर्ण आयामों का नियंत्रण आसान हो जाता है।
दोहरावी प्रक्रियाओं से प्रक्रिया-चक्र संक्षिप्त हो जाता है… एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा-दक्षता के कारण प्रति बैच की लागत भी कम हो जाती है। परिणामस्वरूप, स्थिर गुणवत्ता वाले उत्पाद प्राप्त होते हैं… एवं बर्बाद होने वाले उत्पादों की संख्या भी कम हो जाती है।
इसे संभव बनाने वाले विवरण:
इसकी स्थापना आसान है… लेकिन ऊष्मा-संबंधी संयोजन बहुत ही महत्वपूर्ण है। एमिटर को चक एवं कैरियर की ज्यामिति के अनुरूप ही लगाना होता है… अन्यथा लूप में परावर्तन एवं ऊष्मा-विलंब हो जाता है।
इंटरफेस वायरिंग एवं ग्राउंडिंग को उपकरणों की आवश्यकताओं के अनुरूप ही व्यवस्थित करना होता है… एवं कंट्रोलर की सेटिंगों को फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण की आवश्यकताओं के अनुरूप ही सेट करना होता है। यदि ये विवरण सही हों, तो यह उपकरण दिन-रात, शिफ्ट-दर-शिफ्ट काम करता रहेगा।