फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, उत्पादन की गुणवत्ता डिग्रियों के आधार पर ही निर्धारित होती है। यदि बेकिंग तापमान में थोड़ा भी बदलाव हो जाए, तो उत्पाद की सतह की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है। ऑक्सीकरण प्रक्रिया के दौरान यदि तापमान कम रह जाए, तो गेट ऑक्साइड की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है। हमने ऐसी स्थितियों से निपटने हेतु विशेष उपकरण विकसित किए हैं… क्योंकि तापमान को नियंत्रित रखना बहुत ही आवश्यक है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं… ऐसे उपकरणों का आकार वेफरों के व्यास एवं उपकरणों की संरचना के अनुरूप होता है। वेफरों पर तापमान की समानता ±0.1°C तक ही रहती है… इससे फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता लगातार बनी रहती है। क्लीनरूम में उपयोग हेतु हम अत्यंत कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग करते हैं… ऐसी सामग्रियाँ क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी कार्य कर सकती हैं। 5,000 घंटों से अधिक समय तक उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है… तापमान में व्यवधान 5% से कम ही रहता है।
उत्पादन प्रक्रिया में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी में, इस उपकरण के उपयोग से विलायकों को हटाने एवं फिल्मों पर लगने वाले दबावों को नियंत्रित किया जा सकता है। इस उपकरण के उपयोग से ऊर्जा तेजी से एवं समान रूप से वितरित होती है… इससे फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता बनी रहती है। वेफरों के ऑक्सीकरण प्रक्रिया में भी ऐसी ही स्थिति बनी रहती है… इससे ऑक्साइड की मोटाई में समानता बनी रहती है… और पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… क्योंकि ऊर्जा सीधे आवश्यक स्थानों पर ही जाती है… अतिरिक्त ऊर्जा बर्बाद नहीं होती। इससे उत्पादों की विश्वसनीयता बढ़ जाती है… और अप्रत्याशित रूप से उत्पादन रुकने की समस्याएँ कम हो जाती हैं।
व्यावहारिक दृष्टि से क्या ध्यान देना आवश्यक है?
कोटेड वेफरों पर उपकरणों की स्थापना एवं उनकी ऊर्जा उत्सर्जन क्षमता में अंतर होने से स्थानीय तापमान में व्यवधान हो सकता है… इसलिए उत्पादों पर थर्मल मैप बनाकर ही निर्णय लेना आवश्यक है… केवल अनुमानों पर भरोसा नहीं करना चाहिए। उपकरणों को साफ एवं सूखी ऊर्जा आवश्यक है… यदि उपकरण गलत जगह पर लग जाए, तो तापमान में असमानता हो जाएगी। अपनी आवश्यकताओं के अनुसार उपकरणों की सेटिंग्स को समायोजित करना आवश्यक है।